专利
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申请号
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CN201510043292.1
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专利链接
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http://www.soopat.com/Patent/201510043292
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专利名称
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一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器
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英文名称
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申请日
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2015-01-28
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主分类号
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G01L1/14
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分类号
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G01L1/14; G01L9/12
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申请人
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厦门大学
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公告号
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CN104535228B
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当前法律状态
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授权
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专利有效性
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有效
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法律状态
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法律状态公告日:20150422;法律状态:公开;描述信息:公开;法律状态公告日:20150520;法律状态:实质审查的生效;描述信息:实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/14; 申请日:20150128;法律状态公告日:20170301;法律状态:授权;描述信息:授权;
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专利类型
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发明授权
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公告日
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2017-03-01
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专利代理机构
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厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200
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代理人
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马应森
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地址
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361005 福建省厦门市思明南路422号
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优先权
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国省代码
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中国
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摘要
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一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单,密封性能好,生产成本低。
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主权项
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一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,其特征在于设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线;所述可变电容上极板与可变电容下极板尺寸相同且位置相对,构成可变电容;所述固定电容上极板与固定电容下极板尺寸相同且位置相对,构成固定电容。
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发明人
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刘益芳; 陈丹儿; 郑成; 蔡建法; 王欢; 王凌云
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inpadoc同族
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厦大机构
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更新时间
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20170305
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英文摘要
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