Patent


申请号
CN201510043292.1
专利链接
http://www.soopat.com/Patent/201510043292
专利名称
一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器
英文名称
申请日
2015-01-28
主分类号
G01L1/14
分类号
G01L1/14; G01L9/12
申请人
厦门大学
公告号
CN104535228B
当前法律状态
授权
专利有效性
有效
法律状态
法律状态公告日:20150422;法律状态:公开;描述信息:公开;法律状态公告日:20150520;法律状态:实质审查的生效;描述信息:实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/14;  申请日:20150128;法律状态公告日:20170301;法律状态:授权;描述信息:授权;
专利类型
发明授权
公告日
2017-03-01
专利代理机构
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200
代理人
马应森
地址
361005 福建省厦门市思明南路422号
优先权
国省代码
中国
摘要
一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单,密封性能好,生产成本低。
主权项
一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,其特征在于设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线;所述可变电容上极板与可变电容下极板尺寸相同且位置相对,构成可变电容;所述固定电容上极板与固定电容下极板尺寸相同且位置相对,构成固定电容。
发明人
刘益芳; 陈丹儿; 郑成; 蔡建法; 王欢; 王凌云
inpadoc同族
厦大机构
更新时间
20170305
摘要_en

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