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已发表成果：
WOK 论文 52 篇;中文核心 10 篇;其它论文 7 篇;专利发明 30 个;
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基于暗场散射的无图案晶圆表面缺陷检测仿真研究
光学与光电技术,1672-3392,2025-04-07.
邱新华;卢道祥;王磊;黄少胜;谭恩成
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基于暗场散射的无图案晶圆表面缺陷检测仿真研究
光学与光电技术,1672-3392,2025-04-07.
邱新华;卢道祥;王磊;黄少胜;谭恩成