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中文论文

论文题名
考虑测头误差补偿策略的光学元件接触式在位检测研究（特邀）
英文题名
作者
郑永斌;张凯;黄沛知;黄林斌;杨平;彭云峰
作者单位
厦门大学航空航天学院
期刊名称
红外与激光工程
CN号
ISSN
1007-2276
出版日期
2025-09-25
卷
54
期
09
页码
232-242
中文关键词
在位检测;接触式测量;预行程误差;误差建模;误差校正
英文关键词
中文摘要
接触式在位检测技术是一种能有效提高光学元件加工精度与生产效率的关键技术，其测量精度受测头预行程误差制约。基于接触式测量原理提出了一种光学元件在位检测框架，并将其集成到制造工艺线上。分析了测头误差的产生原理并阐明了标定策略，同时针对测头综合预行程误差的空间分布行为及标定点数目的小样本特性，提出了一种基于GPR-CNN-Attention-BiLSTM-Boosting算法的测头综合预行程误差模型。实验结果表明，所提模型能准确捕捉到测头综合预行程误差的时空分布特性，建模效果优于LSTM、BiLSTM、CNN、CNN-Attention-BiLSTM等算法，建模精度RMSE可达0.002 2 mm。对R200 mm的凹球面进行在位检测后发现，误差校正后测量精度与三坐标检测结果的偏差小于2.1μm，满足光学元件铣磨阶段的面形检测精度需求。研究结果用于光学元件铣磨加工阶段可有效提高生产效率，具有重要的借鉴意义与工程实用价值。
英文摘要
参考文献
基金
国家自然科学基金项目(52075463);; 湖南省科技创新计划项目(2024RC4019);; 湖南省重点研发计划项目(2023GK2069)~~

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